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 > >  特點(diǎn)：

1、擁有現(xiàn)代的加工工藝，研制技術(shù)本身具有足夠的精度等保證其質(zhì)量
2、底層鍍有純鈦層，表面有120nm厚的Au膜，不僅可長(zhǎng)期穩(wěn)定保存，而且具有良好的導(dǎo)電性

3、具有格柵狀雙向結(jié)構(gòu)，與早期使用的初級(jí)銅網(wǎng)結(jié)構(gòu)相似，是可以同時(shí)對(duì)任意兩個(gè)垂直方向上的掃描電鏡、電子探針的圖像的放大倍率進(jìn)行檢查或校正的標(biāo)樣

4、有德國(guó)PTB國(guó)際計(jì)量型原子力顯微鏡的測(cè)量研究報(bào)告和研制者的研制報(bào)告正式發(fā)布(見“掃描電鏡測(cè)長(zhǎng)問題的討論”一書)，即采用目前精度高、可溯源的檢測(cè)方法，有可靠的文獻(xiàn)依據(jù)
5、S1000曾經(jīng)過我國(guó)國(guó)家計(jì)量研究院的多次檢驗(yàn)測(cè)試，并多次獲得合格證書；
6、S1000早在2005年通過全國(guó)微束標(biāo)委會(huì)的有關(guān)專家評(píng)審?fù)ㄟ^，具備報(bào)批國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)樣品的資格，證明其質(zhì)量?jī)?yōu)良
7、公開出版的“掃描電鏡測(cè)長(zhǎng)問題的討論”專著實(shí)際上是一本S1000的綜合性的研制報(bào)告；；
8、價(jià)格低廉，易于保存、易于普及到每個(gè)掃描電鏡和電子探針實(shí)驗(yàn)室
9、功能多，用途多
(1)可用于同時(shí)對(duì)任意兩個(gè)垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進(jìn)行檢查或校正，是校準(zhǔn)從10× ~ 100，000×及以上范圍的圖像放大倍率的有效的圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品：是執(zhí)行GB/T27788 “微束分析一掃描電鏡一圖像放大倍率校準(zhǔn)導(dǎo)則”一個(gè)精準(zhǔn)的校準(zhǔn)標(biāo)樣
(2)可直接用于同一量級(jí)物體，毫米量級(jí)到納米量級(jí)長(zhǎng)度的精確比對(duì)測(cè)量，是執(zhí)行GB/T 16594和GB/T 20307 微米和納米測(cè)量的一個(gè)不能缺少的精準(zhǔn)的度量工具
(3)可用于對(duì)圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進(jìn)行校驗(yàn)，是評(píng)價(jià)掃描電鏡圖像質(zhì)量的一個(gè)重要工具
(4)對(duì)樣品臺(tái)傾斜角和電子傾斜以及旋轉(zhuǎn)調(diào)整功能的檢驗(yàn)也有較好的作用

(5)利用標(biāo)樣上的“點(diǎn)子”圖像，可對(duì)電子束作漂移檢驗(yàn)和樣品臺(tái)復(fù)位檢驗(yàn)

用途：
(1)可用于同時(shí)對(duì)任意兩個(gè)垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進(jìn)行檢查或校正，是校準(zhǔn)從10×~100,000×范圍的圖像放大倍率的有效的圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品
(2)可用于對(duì)圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進(jìn)行校驗(yàn)，是評(píng)價(jià)掃描電鏡圖像質(zhì)量的個(gè)重要工具
(3)可直接用于同一量級(jí)物體長(zhǎng)度的精確比對(duì)測(cè)量
(4)對(duì)樣品臺(tái)傾斜角和電子傾斜以及旋轉(zhuǎn)調(diào)整功能的檢驗(yàn)也有較好的作用
(5)利用標(biāo)樣上的“點(diǎn)子”圖像，可對(duì)電子束作漂移檢驗(yàn)和樣品臺(tái)復(fù)位檢驗(yàn)

標(biāo)準(zhǔn)樣品的形狀、規(guī)格和包裝：
S1000微米-亞微米級(jí)系列標(biāo)樣，總體為5mm×5mm×0.5mm(長(zhǎng)×寬×厚)大小的小方塊。主體圖形為一個(gè)“回”字形的方框，最外框邊長(zhǎng)約為2mm,內(nèi)框的邊長(zhǎng)約為1.2mm,內(nèi)框里面用X、Y軸分為4個(gè)象限，X、Y軸上制作有垂直坐標(biāo)軸方向的線距20μm的短平行線條，4個(gè)象限上分別是線距為40μm、20μm、10μm的方格網(wǎng)狀圖形和線距為5μm的X、Y雙向平行線條圖形，內(nèi)框的中部又是“回”字形的方框，大框的邊長(zhǎng)約為160m,小框邊長(zhǎng)約50μm，大框和小框之間在X方向和Y方向上都有線距為5μm的平行線條，小框里面是線距為1μm或0.5μm的X、Y雙向平行線條圖形(見圖1)，在5μm和1μm或0.5μm的線距結(jié)構(gòu)上還有一些十字形和圓點(diǎn)，可用于在較大放大倍率下圖像的聚集和像散調(diào)整，不同的線距大小可用于從10×~10000放大倍率范圍的校準(zhǔn)，而把40μm、20μm和10μm的線距結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)成方格形，是為了在對(duì)放大倍率進(jìn)行準(zhǔn)確校準(zhǔn)的同時(shí)，可以對(duì)圖像的畸變、像散等進(jìn)行校驗(yàn)，5μm的線距結(jié)構(gòu)也同時(shí)具有X、Y兩個(gè)方向的平行線條，是為了方便同時(shí)對(duì)X、Y兩個(gè)方向進(jìn)行放大倍的準(zhǔn)而不必機(jī)械旋轉(zhuǎn)標(biāo)準(zhǔn)器。
標(biāo)準(zhǔn)樣品的穩(wěn)定性：
標(biāo)準(zhǔn)樣品基質(zhì)材料為單晶硅或石英玻璃基片，材料性質(zhì)穩(wěn)定。在對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行觀察時(shí)，可看到標(biāo)準(zhǔn)樣品具有良好的導(dǎo)電性，并且在掃描電鏡下所產(chǎn)生的圖形具有很好的對(duì)比度，在掃描電鏡下或光學(xué)顯微鏡下進(jìn)行多次長(zhǎng)時(shí)間的觀察后，未見標(biāo)準(zhǔn)樣品圖形或線距結(jié)構(gòu)發(fā)生變形或其他損壞，即標(biāo)準(zhǔn)樣品在電子束重復(fù)照射下是穩(wěn)定的。

標(biāo)準(zhǔn)樣品的均勻性：
本系列標(biāo)準(zhǔn)樣品的片內(nèi)線距均勻性由德國(guó)聯(lián)邦物理研究所(PTB)使用一臺(tái)大范圍計(jì)量型掃描力顯微鏡( M-LRSFM進(jìn)行測(cè)量，40μm、20μm、10μm和5μm的線距結(jié)構(gòu)的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差分別為<0.15%、<0.25%、<0.3%、<0.5%和<1%；片間線距的均勻性送國(guó)家有色金屬及電子材料分析測(cè)試中心掃描電鏡實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行檢查，隨機(jī)取10個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品，在相同掃描電鏡工作條件下獲取每個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品上每種線距結(jié)構(gòu)的圖像，在每個(gè)圖像上的不同位置取若干個(gè)線距周期測(cè)量4個(gè)長(zhǎng)度數(shù)據(jù)，其測(cè)量結(jié)果標(biāo)準(zhǔn)偏差分別為：<0.39%、<0.19%、<0.21%和<0.19%

標(biāo)準(zhǔn)值和置信限：

本系列標(biāo)準(zhǔn)樣品的線距值由德國(guó)聯(lián)邦物理研究所(PTB)使用一臺(tái)大范圍計(jì)量型掃描力顯微鏡(M- LRSFM)進(jìn)行測(cè)量，測(cè)量結(jié)果可直接溯源至米定義計(jì)量基準(zhǔn)。各線距結(jié)構(gòu)的測(cè)量值分別為：40000.6±4.2nm(X方向)、40001.8±4.2nm(Y方向)、20000.4±1.8nm(X方向)、20000.0±1.8nm(Y方向)、10000.2±0.5mm(X方向)、10000.0±0.5mm(Y方向)、5000.0±0.6mm(X方向)、5000.3±0.6mm(Y方向)、1000.4±0.7nm(X方向)、1000.4±0.7mm(Y方向)，置信限為95%，k=2。

測(cè)試使用計(jì)量基準(zhǔn)裝置主要儀器：計(jì)量型掃描電子顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)裝置

測(cè)量范圍：線間隔結(jié)構(gòu)（0~50）μm

不確定度/準(zhǔn)確度等級(jí)：Ｕ=（1+2×10^-3*p）nm，k=2（Ｐ-nm）

測(cè)試結(jié)果：

1、樣板外觀：良好

2、測(cè)量范圍：對(duì)樣塊中指定量值的柵格間距區(qū)域，進(jìn)行多次重復(fù)測(cè)量

3、樣塊刪格間距校準(zhǔn)結(jié)果及測(cè)量不確定度：

測(cè)量區(qū)域	A	B	C	D	E1	E2
標(biāo)稱值/μm	40	20	10	5	2	1
X方向校準(zhǔn)值/nm	39993	20052	10011	5033	1998	994
Y方向校準(zhǔn)值/nm	40074	20049	10000	5042	2003	1001
Ｕ95/nm	50	31	11	8	4	2